Résumé
Le micro-usinage du titane représente un défi technologique car ce matériau est considéré comme difficile à usiner en raison du collage entre l'outil et la matière. À l'heure actuelle il n'existe que peu de revêtements efficaces permettant d'allonger la durée de vie de ces outils et c'est d'autant plus difficile pour les micro-outils. Des revêtements à base de TiSiN, avec et sans l'ajout de carbone, ont été déposés par la technique PVD-HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) et optimisés pour répondre aux exigences du micro-usinage de titane.
Die Mikrobearbeitung von Titan stellt eine technologische Herausforderung dar, da es aufgrund der Berklebung zwischen Werkzeug und Material als schwer bearbeitbar gilt. Derzeit gibt es nur wenige wirksame Beschichtungen, die die Lebensdauer dieser Werkzeuge verlängern können. Umso schwieriger gestaltet sich die adäquate Beschichtung von Mikrowerkzeugen. Beschichtungen auf TiSiN-Basis, mit und ohne der Zugabe von Kohlenstoff, wurden mittels PVD-HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) abgeschieden und für die Anforderungen der Titan-Mikrobearbeitung optimiert.
Die Mikrobearbeitung von Titan stellt eine technologische Herausforderung dar, da es aufgrund der Berklebung zwischen Werkzeug und Material als schwer bearbeitbar gilt. Derzeit gibt es nur wenige wirksame Beschichtungen, die die Lebensdauer dieser Werkzeuge verlängern können. Umso schwieriger gestaltet sich die adäquate Beschichtung von Mikrowerkzeugen. Beschichtungen auf TiSiN-Basis, mit und ohne der Zugabe von Kohlenstoff, wurden mittels PVD-HIPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) abgeschieden und für die Anforderungen der Titan-Mikrobearbeitung optimiert.